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專業(yè)維修射頻電源服務范圍： 主要為太陽能光伏、半導體、液晶面板、鍍膜行業(yè)研發(fā)和維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的設備電源， 包括直流、高壓、脈沖、射頻、微波、CHILLER、 ENI，MKS，AE，ADECT，JINSAN，HUTTINGER，SEREN，ADL，COMDAL，VARIAN等等國內外電源維修。 服務優(yōu)勢： 擁有一批專業(yè)技術人才，進口品牌射頻電源資深工程技術支持，消化吸收國外先進技術基礎上創(chuàng)新發(fā)展，鍛煉培養(yǎng)十幾名經驗豐富的維修工程師。擁有自主開發(fā)的專業(yè)配套射頻電源測試平臺，高壓電源測試負載，直流電源測試負載，專用測試儀器設備，以及豐富的圖紙技術資料。 服務品牌： AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射頻電源， HiTek Power，Glassman、Spellman高壓電源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流電源。 ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH LAMP、ESC HV PSU。 電源維修 專業(yè)維修半導體設備電源，主要有高壓電源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流電源（DC Power Supply）、 射頻電源(RF Generator)、微波發(fā)生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match、RPSC等專業(yè)設備維修。 Thermo Chiller維修 溫度控制泵浦，設備冷卻系統(tǒng)，品牌有SMC，小松、大金、申和等 一、RF Generator射頻電源維修和配套直流電源 1、AE（ADVANCED ENERGY）射頻電源/直流電源 2、MKS ENI射頻電源/直流電源 3、DAIHEN射頻電源 4、KYOSAN射頻電源/直流電源 5、COMDEL射頻電源 6、ADTEC射頻電源 7、SEREN射頻電源