RBZ-SG系列精密Z軸 |
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產(chǎn)品特點(diǎn)
l ? 垂直平升行程可達(dá)50mm,整體尺寸結(jié)構(gòu)緊湊,速度可達(dá)20mm/s,最大負(fù)載60kg l ? 高精度交叉滾柱導(dǎo)軌,無(wú)槽無(wú)刷力矩電機(jī),低膨脹系數(shù)光柵有助實(shí)現(xiàn)納米級(jí)微動(dòng)步距 l ? 高可靠性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),使用壽命長(zhǎng)
應(yīng)用領(lǐng)域 RBZ-SG系列是一款長(zhǎng)行程的精密平升Z軸,具有納米級(jí)微動(dòng)步距,高動(dòng)態(tài)性能,結(jié)構(gòu)緊湊,用于晶圓加工及檢測(cè)、飛秒激光加工、測(cè)試測(cè)量、生物工程等高精度行業(yè)。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn) RBZ-SG系列直驅(qū)結(jié)構(gòu),承載能力大,在一個(gè)長(zhǎng)行程的移動(dòng)范圍,保持盡可能低的高度,優(yōu)化阿貝誤差影響,有助于提高整體精度性能?谷渥兘徊鏉L柱導(dǎo)軌垂直導(dǎo)向,為提升直線(xiàn)度、Pitch Roll Yaw指標(biāo)提供創(chuàng)新解決方案。
直驅(qū)結(jié)構(gòu) 力矩電機(jī)作為直驅(qū)方式,沒(méi)有皮帶、齒輪、蝸輪蝸桿和彈性聯(lián)軸器中間傳動(dòng)環(huán)節(jié),RBZ-SG平升Z軸直接托舉負(fù)載運(yùn)動(dòng),相對(duì)側(cè)升結(jié)構(gòu)Z軸,無(wú)需轉(zhuǎn)接板,負(fù)載重心布置在Z軸中心,有利于運(yùn)行過(guò)程減小俯仰和偏擺的影響。
光柵閉環(huán)反饋 RBZ-SG平升Z軸為雙閉環(huán)反饋,直線(xiàn)光柵和圓光柵相結(jié)合的雙反饋方式,直接測(cè)量工件移動(dòng)時(shí)的誤差,提高了精度性能。
規(guī)格指標(biāo)
注: 以上為單軸精度指標(biāo),在潔凈間內(nèi)測(cè)試,溫度20℃±1℃,濕度40%~60%RH,振動(dòng)等級(jí)VC-E,測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處 |
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