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\r多晶硅實驗爐，多晶硅鑄錠實驗爐，多晶硅熔煉實驗爐，多晶硅實驗設(shè)備。\r<\/p>\r

\r太陽能級硅錠制造，也可以用于其他半導(dǎo)體材料提純。\r<\/p>\r

\r特點\r<\/p>\r

\r控制精度高，結(jié)晶速度自由調(diào)節(jié)\r<\/p>\r

\r采用感應(yīng)熔煉法，增加溶液攪拌，熔煉速度快\r<\/p>\r

\r定向凝固保溫采用特制加熱電源\r<\/p>\r

\r具有三相電流平衡，維護(hù)費(fèi)用低\r<\/p>\r

\r采用恒溫度控制儀\r<\/p>\r

\r主要技術(shù)參數(shù)\r<\/p>\r

\r熔煉容量：3-25KG  \r<\/p>\r

\r電源功率：50-160KW      \r<\/p>\r

\r升溫速率：40℃/Min    \r<\/p>\r

\r爐溫均勻性：±5℃       \r<\/p>\r

\r極限真空度：1.0×10-3Pa     \r<\/p>\r

\r壓升率：    0.01PaL/S      \r<\/p>\r

\r額定充氣壓力：0.05Mpa      \r<\/p>\r

\r鑄錠方式：下降定向凝固    \r<\/p>\r

\r伺服控制范圍：0.01mm-6mm/Min           \r<\/p>\r

\r定向凝固速率：0.03mm-0.5mm/Min          \r<\/p>\r

\r坩堝上升速度：80-100 mm/Min       \r<\/p>\r<\/div>\r<\/div>\r<\/div><\/div>