| 英思特濕法自動/半自動 石英爐管 石英舟 清洗機(jī) 全國上門服務(wù) |
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價(jià)格：100000 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
| 最少起訂量：1臺 | 發(fā)貨地：本地至全國 | |
| 上架時(shí)間：2020-06-16 15:01:40 | 瀏覽量：684 | |
江蘇英思特半導(dǎo)體科技有限公司
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| 經(jīng)營模式：生產(chǎn)加工 | 公司類型：私營有限責(zé)任公司 | |
| 所屬行業(yè)：洗滌設(shè)備 | 主要客戶：半導(dǎo)體 | |
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| 聯(lián)系人:陳經(jīng)理 (先生) | 手機(jī):18012437416 |
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1.1 設(shè)備概況： 1.1.1 主要功能：設(shè)備主要采用人工上下料、機(jī)械手自動實(shí)現(xiàn)槽體之間轉(zhuǎn)移方式，對2--12英寸石英爐管或其他石英配件進(jìn)行酸液浸泡、水槽噴洗、水槽溢流漂洗、水槽氮?dú)夤呐莸确绞竭M(jìn)行處理，從而達(dá)到一個(gè)優(yōu)異的清洗效果； 1.1.2 被清洗爐管尺寸（Max）：2--12英寸的石英爐管，； 1.1.3 設(shè)備形式：無塵室（class 1000級 fab）內(nèi)放置型； 1.1.4 清洗時(shí)間：0~999MIN（可根據(jù)實(shí)際工藝時(shí)間而定）； 1.1.5 操作形式：觸摸屏 自動/手動操作； 1.2 設(shè)備組成 1.2.1 該設(shè)備主要由殼體部分、槽體部分、管路系統(tǒng)、機(jī)械臂機(jī)構(gòu)、排風(fēng)系統(tǒng)、電控部分及防漏液盤組成； 1.3 設(shè)備描述 1.3.1 該設(shè)備是一個(gè)全自動（清洗）的處理設(shè)備； 1.3.2 觸摸屏（PROFACE、OMRON）顯示 / 檢測 / 操作； 1.3.3 清洗工作過程由歐姆龍或三菱PLC 控制； 1.4 設(shè)備特性 1.4.1 需要漂洗能力強(qiáng),性能穩(wěn)定,安全可靠; 1.4.2 需要設(shè)備成本合理,自動化程度高,使用成本低; 1.4.3 設(shè)備上層為電器控制系統(tǒng)、機(jī)械臂機(jī)構(gòu)及抽風(fēng)系統(tǒng)，中層為工作區(qū)，下層和后下部為管道安裝維修區(qū)； 1.4.4 設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)必須合理，方便工程師維護(hù)、維修，適宜生產(chǎn)線上大批次操作； 1.4.5 機(jī)臺要求有回收水裝置，在排水管路上安裝一個(gè)三通裝置，并在程式中選擇排水路徑，將水排入純回水管路或者DHF管路； 1.4.6 配備一個(gè)可移動的清洗架，主要用于清洗小件Quartz和boat； 1.4.7 在水槽左右側(cè)壁處需要開溢流口（開關(guān)狀態(tài)可受控制）； 1.4.8 在整臺設(shè)備的底部裝有防漏液盤； 1.4.9 臺面網(wǎng)孔設(shè)計(jì)； 1.4.10 水平調(diào)整：通過地腳調(diào)整設(shè)備水平； 1.4.11 設(shè)備移動：設(shè)備裝有樹脂腳輪以備設(shè)備移動之用； 1.4.12 上料平臺操作面高度：950mm； 1.4.13 操作面門設(shè)計(jì)：單開門透明的PVC活動門（上下推拉+配重）； 1.4.14 對水槽和酸槽清洗操作流程可自由編寫程式，并自動運(yùn)行； 1.4.15 在水槽兩頭需要安裝水管和氣管各一支； 1.4.16 設(shè)計(jì)內(nèi)外槽：內(nèi)槽為酸槽，外槽為水槽；（內(nèi)外槽，分別有溢流功能） 1.4.17 使用酸液為：49%HF與DIW配比后的HF 1.4.18 各槽材質(zhì)：酸槽為PVDF（耐化學(xué)腐蝕），水槽為NPP（耐腐蝕）； 1.4.19 防漏槽材質(zhì)為：PP； 1.4.20 機(jī)械手臂需要能夠上下左右移動（上升時(shí)需要有略傾斜功能----左右落差3cm， 將酸液倒出）； 1.4.21 機(jī)械手臂需要采用伺服電機(jī)控制； 1.4.22 使用的DI WATER和酸液（HF49%）都是由廠務(wù)系統(tǒng)提供； 1.4.23 需要日常照明以及alarm信息的存檔和查看； 1.4.24 自動清洗流程 人工上料→選擇好相應(yīng)的清洗時(shí)間→按AUTO（RUN，door open interlock）鍵→系統(tǒng)自動移動到酸槽進(jìn)行酸洗（右邊比左邊低3CM下行）→等泡酸時(shí)間結(jié)束系統(tǒng)自動將Quartz提起（右邊比左邊低3CM上行）→系統(tǒng)自動移動到水槽進(jìn)行清洗→清洗完成后定位在水槽上方→所有動作完成后蜂鳴器提示（1分鐘）→人工下料； |
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