| g-25a型光刻機 精密光刻機 成都光刻機 |
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價格：225000 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
| 最少起訂量：1 | 發(fā)貨地：本地至全國 | |
| 上架時間：2019-04-08 22:50:18 | 瀏覽量：111 | |
成都鑫南光機械設(shè)備有限公司
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| 經(jīng)營模式：其他 | 公司類型：生產(chǎn)型 | |
| 所屬行業(yè)：水利機械設(shè)備 | 主要客戶：全國 | |
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型號 g-25a型 用途 它主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、聲表面波器件的研制和生產(chǎn)。 別名 曝光機 尺寸 650*450*1500m 規(guī)格 g-25a 類型 多點源 品牌 成都鑫南光 加工定制 是 詳細說明 一、 設(shè)備的主要用途及特點 本設(shè)備適用于對φ100mm以下，厚為0～5mm各種基片的曝光。 由于采用了高均勻性的多點光源曝光頭，非常理想的三點找平機構(gòu)，穩(wěn)定可靠的真空壓緊曝光，使本機的曝光分辨率和曝光均勻性都大為提高。 版不動﹑片動的對準方式，保證了導(dǎo)軌自重和受力方向的一致性，加之承片臺升降采用無間隙滾珠直進導(dǎo)軌和三點式找平機構(gòu)的成功應(yīng)用，使本機漂移特小，對準精度高，對準速度快。 本設(shè)備的電氣控制采用plc控制，各主要元件（如電磁閥等）均采用進口件，設(shè)備運行的高穩(wěn)定﹑可靠是本機的又一大優(yōu)點。 二、主要技術(shù)參數(shù)： 1.適用于φ4"，φ3"，φ2"基片，基片厚度0～5mm均可。 2.具有相對應(yīng)的版夾盤□5"×5" □4"×4" □2.5"×2.5"。 3.套刻手柄：x，y 粗調(diào)±3mm，細調(diào)±0.3mm。 θ 粗調(diào)±15度 細調(diào)±3度 4.對準精度 ±0.5μm 5.掃描觀察 ±15mm 6.多點光源曝光頭，光的不均勻性≤±6%，使用200w直流**燈，風冷、光強可調(diào)。 7.采用雙目分離視場顯微鏡，放大倍數(shù)50x～375x (可采用雙ccd加顯示器來顯示，放大倍數(shù)94x～590x或67.5x～420x)。 機電之家網(wǎng)廠家成都鑫南光機械設(shè)備有限公司為您提供g-25a型光刻機 精密光刻機 成都光刻機的詳細產(chǎn)品價格、產(chǎn)品圖片等產(chǎn)品介紹信息，您可以直接聯(lián)系廠家獲取g-25a型光刻機 精密光刻機 成都光刻機的具體資料，聯(lián)系時請說明是在機電之家網(wǎng)看到的。 |
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