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空氣從大氣吸入經(jīng)過(guò)濾器過(guò)濾后，進(jìn)入空氣壓縮機(jī)，經(jīng)壓縮、冷卻及除油后，進(jìn)入空氣預(yù)冷系統(tǒng)進(jìn)行預(yù)冷并在水分離器中分離冷凝水，然后進(jìn)入純化器的吸附筒清除水份、二氧化碳及大部分的碳?xì)浠衔锏取艋蟮目諝膺M(jìn)入分餾塔冷箱中的熱交換器，在其中與返流的氧、氮和污氮進(jìn)行熱交換，然后部分空氣節(jié)流入下塔，另一部分空氣從熱交換器中部抽出進(jìn)入透平膨脹機(jī)膨脹制冷，膨脹后的低溫空氣進(jìn)入上塔（或部分進(jìn)入污氮管道復(fù)熱后放空）。在下塔中空氣被初步分離，頂部為液氮，底部為液空；液空從下塔底部抽出經(jīng)過(guò)冷器入上塔中部，液氮從下塔頂部抽出經(jīng)過(guò)冷器入上塔頂部。空氣在上塔中經(jīng)過(guò)充分精餾后，從上塔底部冷凝蒸發(fā)器抽出液氧作產(chǎn)品。氮?dú)鈴纳纤敳砍槌鼋?jīng)液氮液空過(guò)冷器、熱交換器復(fù)熱后排出分餾塔外。