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日本三豐Mitutoyo M Plan Apo SL100x 378-804-3可見光物鏡

明視場用物鏡

M Plan Apo SL

VMU FS70 MF-U Hyper MF-U

·無限遠校正　

·明視場觀察用

·超長工作距離(超長規(guī)格)

·平場復消色差規(guī)格　

品 名貨號

數值孔徑

NA

工作距離

WD(mm)

焦距

f(mm)

分辨力

R(μm)

物鏡單體的焦深

±D.F.(μm)

實際視場(mm) 質量

?24目鏡 (g) 1/2型

相機 (縱×橫)

M Plan Apo SL

M Plan Apo SL20× 378-810-3 0.28 30.5 10 1.0 3.5 1.2 0.24×0.32 240

M Plan Apo SL50× 378-811-15 0.42 20.5 4 0.7 1.6 0.48 0.10×0.13 280

M Plan Apo SL100× 378-813-3 0.55 13.0 2 0.5 0.9 0.24 0.05×0.06 290

上述規(guī)格欄中的分辨力和物鏡單體焦深是根據基準波長(λ＝0.55μm)計算得出的值

通過VMU-LB和固定倍率觀察用相機卡口的

組合，能夠對同一位置以不同倍率同時觀

察。

(低倍率側：2/3型、高倍率側：1/2型等)

通過與YAG激光(1064nm、532nm、355nm、266nm)物鏡組合，可實現高精度、高

品質加工。

與簡易支架一起使用，還可作為緊湊型顯微鏡使用。

　保護膜、有機薄膜等的剝離

　金、鋁等金屬配線切割、下層圖案的外露

　FPD的各種缺陷修正

　光掩模修正

　標記、修剪、圖像形成、局部退火、劃線

憑借長動作距離設計的物鏡，實現優(yōu)異的操作性。

最適合與定位器、探針臺等組合。

通過與激光加工裝置組合，還可支持不良分析→部分修正無縫銜接的系統。

此外，還提供支持隔著玻璃的、真空內的外觀檢查的系統