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氦離子氣相色譜儀產(chǎn)品參數(shù)
多維系統(tǒng)，通過(guò)工作站設(shè)置的時(shí)間程序自動(dòng)控制其進(jìn)樣、切換、切割與反吹等過(guò)程，完成包括高純氮、高純氫、高純氧、高純氦、高純二氧化碳、高純氬、氪氣、氙氣、氖氣等高純氣體以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)。

高純氣體分析符合以下標(biāo)準(zhǔn)
1、高純氣標(biāo)準(zhǔn)
GB/T 8979-2008《高純氮》 GB/T 14599-2008《高純氧》
GB/T 4844.3-1995 《高純氦》 GB/T 4842-2006《氬》
GB/T 7445-1995 《純氫、高純氫、超純氫》 GB/T 17873-1999《純氖》
GB/T 5829-1995《氪氣》 GB/T 5828-1995《氙氣》
HG/T 3633-1999《純甲烷》 GB 10621-2006《食品添加劑 液體二氧化碳》
2、電子氣標(biāo)準(zhǔn)
GB/T 16942-1997《電子工業(yè)用氣體 氫》
GB/T 16943-1997《電子工業(yè)用氣體 氦》
GB/T 16944-1997《電子工業(yè)用氣體 氮》
GB/T 16945-1997《電子工業(yè)用氣體 氬》
GB/T 14604-93《電子工業(yè)用氣體 氧》
GB/T