片狀壓電陶瓷是標(biāo)準(zhǔn)厚度為 2mm 的方片或環(huán)片。單片位移可達(dá) 3.3 μm。

堆棧式壓電陶瓷是通過將多片壓電陶瓷片進(jìn)行疊堆、焊接公共電極后使用，高度自由選擇，疊堆后的位移為每片位移的總和，總位移可達(dá) 326.7μm。定制 UHV 版本，耐壓可達(dá) 10^-10torr=1.33×10^-10mbar。