S51系列壓電偏擺\/升降臺(tái)中心通孔的三維θxθy及Z軸運(yùn)動(dòng) |
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S51 系列是具有中心通孔的三維 θxθy 及 Z 軸運(yùn)動(dòng)的壓電偏擺臺(tái),采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm中心大通孔使其易于集成在顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。 特點(diǎn):? θx、θy 偏擺運(yùn)動(dòng),Z 向升降 ? 閉環(huán)定位精度高 ? 響應(yīng)速度快 ? 透光孔:80×80mm? ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
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