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氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點

科儀——專業(yè)土氦檢漏供應商，我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?/p>

北京科儀真空技術有限公司是國內(nèi)新興的一家專業(yè)從事真空領域的高新技術企業(yè)。儀產(chǎn)品主要有：薄膜制備設備，真空冶金設備，檢漏設備，真空系統(tǒng)等非標真空產(chǎn)品；系列分子泵，離子泵，鈦升華泵，深冷捕集泵等高真空獲得設備；系列干式渦旋泵，干式爪泵，干式螺桿泵等無油真空獲得設備；超高真空環(huán)境模擬設備等高新技術產(chǎn)品。如您想了解更多您可撥打圖片上的電話進行咨詢，科儀竭誠為您服務！今天小編就和大家分享一下氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點。

1.采用便攜式設計

2.設備外型美觀小巧

3.采用液晶觸摸屏設計

4.有通訊接口

5.可以方便地將檢漏數(shù)據(jù)輸出

氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。

今天和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀的操作方法，希望對大家有所幫助！

氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)

隨著科技的迅猛發(fā)展，氦質(zhì)譜檢儀及其應用技術也在不斷發(fā)展和究善。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的氦質(zhì)譜檢涮儀，廣泛應用丁航空航天，電力電子，汽車等各個行業(yè)，綜觀較新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點發(fā)現(xiàn)，氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發(fā)展，這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求，也極大的推動了氮質(zhì)譜檢漏技術的不斷發(fā)展。氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質(zhì)分析器，

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實現(xiàn)分離。

離子檢測器的作用是手機質(zhì)量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質(zhì)譜管有污染。逆擴散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質(zhì)譜管，不會對系統(tǒng)有污染，因此被廣泛采用，已成為市場的主流的產(chǎn)品。

機械泵的工作方式不一樣，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出，污染工作環(huán)境，干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。