主體構(gòu)造特點(diǎn)
主體:設(shè)備為半敞開式，主體使用進(jìn)口 WPP15 和 10mm 厚板材，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)充分考慮長(zhǎng)期工作在酸腐蝕環(huán)境，堅(jiān)固耐用，雙層防漏，機(jī)臺(tái)底盤采用德國(guó)產(chǎn)瓷白 PP板，熱焊接 而成，可長(zhǎng)期工作在酸堿腐蝕環(huán)境中.
骨 架:鋼骨架+PP 德國(guó)勞施領(lǐng)板組合而成，防止外殼銹蝕.
安全門:前側(cè)下開透明安全門，腳踏控制.
工藝槽:模組化設(shè)計(jì)，腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個(gè)統(tǒng)一的承漏底盤中.底盤采用滿焊接工藝加工而成，杜絕機(jī)臺(tái)的滲漏危險(xiǎn).
管路系統(tǒng):位于設(shè)備下部，所有工藝槽、管路、閥門部分均有清晰的標(biāo)簽注明；藥液管路采用 PFA 管，純水管路采用白色 NPP 噴淋管，化學(xué)腐蝕槽廢液、沖洗廢水通過專用 管道排放.
電氣保護(hù):電器控制、氣路控制和工藝槽控制部份在機(jī)臺(tái)頂部電控區(qū)，電氣元件有充分的防護(hù)以免酸霧腐蝕以保障設(shè)備性能運(yùn)行穩(wěn)定可靠；所有可能與酸霧接觸的電氣及線路 均經(jīng) PFA 防腐隔絕處理，電氣柜 CDA/N2 充氣保護(hù)其中的電器控制元件.
排 風(fēng):后部排風(fēng)和下沉式設(shè)計(jì)，風(fēng)量可調(diào)節(jié)，對(duì)操作員有安全保護(hù).
送風(fēng):設(shè)備頂部有 FFU 百級(jí)凈化送風(fēng)裝置，設(shè)備沿前側(cè)板鑲嵌入墻體，保證后上部送風(fēng)
水:機(jī)臺(tái)前部配備有 PTFE 純水槍和 PTFE 氮各 1 只置于右側(cè)，方便操作員手工清洗槽體或工件.
控制系統(tǒng)
PLC可程式控制器（歐姆龍）＋PROFACE 彩色人機(jī)界面操作。
模塊化軟件、硬件設(shè)計(jì)，減少故障幾率，便于安裝和維護(hù)；
空氣開關(guān)、斷路器、電磁閥、按鈕、氮?dú)庹{(diào)壓閥，針閥、三色等均采用SMC、施耐德、和泉、松下、正泰等電氣產(chǎn)品，安全可靠；
配備漏電斷路保護(hù)、隔離變壓器、漏液檢測(cè)、EMO開關(guān)等安全保護(hù)裝置；
所有程序參數(shù)可修改，操作模式可分為自動(dòng)/手動(dòng)，加液和花籃傳遞為手動(dòng)；
電路區(qū)功能分塊，強(qiáng)電、弱電塊，便于維護(hù)；
電氣控制部分均有清晰的標(biāo)簽注明
具密碼保護(hù)功能以避免操作人員誤改參數(shù)：
Password-1.啟動(dòng)及可進(jìn)入自動(dòng)模式內(nèi)容。
Password-2可進(jìn)入手動(dòng)模式。
Password-3可進(jìn)入編輯模式修改制程參數(shù)。
江蘇英思特半導(dǎo)體科技有限公司是一家集研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造和銷售為一體的專業(yè)太陽(yáng)能、LED和半導(dǎo)體清洗設(shè)備供應(yīng)商。以優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和優(yōu)良的服務(wù)贏得了各界用戶的贊許和信賴。目前，公司主要產(chǎn)品有：多晶制絨硅片清洗機(jī)，濕法刻蝕硅片清洗機(jī)，全自動(dòng)單晶制絨清洗機(jī)，全自動(dòng)去磷硅玻璃清洗機(jī)，全自動(dòng)硅料/硅片清洗硅片槽式清洗設(shè)備