Parker天然氣調(diào)壓閥veriflo減壓閥
派克漢尼汾公司veriflo劃分介紹了bfr5k氣體調(diào)整器系列。是的bfr5k響應(yīng)的創(chuàng)建需要一個(gè)小，高流量，高性能半導(dǎo)體加工調(diào)節(jié)器。
這個(gè)國(guó)家的最先進(jìn)的設(shè)備的基礎(chǔ)上的知識(shí)—在veriflo平方加工獲得的邊緣調(diào)節(jié)線提供清潔的操作—世界上可利用的氣體成分。的bfr5k提供穩(wěn)定出口壓力在各種各樣的流動(dòng)條件下
率高5000 SLPM。
獨(dú)特的平衡閥設(shè)計(jì)允許調(diào)節(jié)器保持出口壓力不改變?cè)O(shè)置在上游壓力下。
特征：
標(biāo)準(zhǔn)的316L不銹鋼支架
321不銹鋼波紋管。
高流量小容量壓力降。
平衡閥芯為最小
供給壓力效應(yīng)。
為了提升加束縛隔膜安全。
颶風(fēng)清理“近乎絕對(duì)”污染控制。
能夠在很寬的范圍內(nèi)工作的
流量從100到10000 SLPM。
建筑設(shè)計(jì)與材料確保與半導(dǎo)體的兼容性大宗氣體。
材料
閥體。........“vericlean”，veriflo的高純度
。..............316L型不銹鋼TM
座椅。..............................PCTFE
貝洛斯：
內(nèi)。........................鉻鎳鐵合金?
七百一十八外。..................321不銹鋼
提升和裝飾。. . ........“vericlean”，veriflo的高純316L不銹鋼
操作條件
最大入口壓力。............500 psig。
出口壓力。..................0-200表壓
溫度。....- 40?F到150?F（- 40?C到66?C）
表面光潔度
標(biāo)準(zhǔn)的RA。........... . ....10英寸（25微米）或以下
可選的RA。..............EV = 5微英寸（13微米）或以下